環氧乙烷滅菌器主要由以下幾個部分組成：12
滅菌箱體：這是環氧乙烷滅菌器的主體部分，通常由內膽、外殼和管道組成。內膽用于容納待滅菌的物品，外殼則起到保護和支撐的作用，而管道則用于環氧乙烷的流通和排放。
加熱系統：包括加熱帶和溫控器，用于提供和調節滅菌所需的溫度。加熱帶負責產生熱量，而溫控器則根據預設的溫度范圍來控制加熱帶的工作狀態。
真空系統：由真空泵、控制閥、過濾器和抽真空管道組成，用于在滅菌過程中創建和控制真空環境。這有助于環氧乙烷氣體更好地滲透到物品中，從而更有效地殺滅微生物。
加藥及氣化裝置：包括手動閥門、溫度檢測、氣化加熱系統和氣化室。這一系統負責將液態環氧乙烷轉化為氣態，并通過管道輸送到滅菌箱體中。
殘氣處理系統：用于處理滅菌后殘留在箱體中的環氧乙烷氣體，確保操作環境的安全。
監測和控制系統：由溫度傳感器、濕度傳感器、壓力傳感器以及微電腦控制器、工控觸摸屏、按鈕等控制電氣元件組成。這些傳感器和控制器能夠實時監測滅菌過程中的溫度、濕度和壓力等參數，并根據預設的程序來控制滅菌器的運行。
此外，環氧乙烷滅菌器還可能包括輔助機架(柜)、密封裝置等其他組成部分，這些部分共同保證了設備的正常運行和滅菌效果。
